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深圳市铭辉源科技有限公司
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一、仪器规格参数
30mm高清激光干涉仪为多摄像孔检测而定制,具备大视场、高分辨率的性能。可以同时完成双孔、三孔或更多孔的透过波前检测。
仪器规格参数表
硬件部分:
产品型号 | G30-HD |
产品名称 | 30mm高清激光干涉仪 |
测试口径 | 30mm*25mm |
标准镜面形精度 | λ/20 |
光源 | 进口半导体激光器(635nm) |
可同步测量孔数 | 最多10孔 |
电源 | AC220V50HZ |
软件部分:
软件名称 | 移相算法(简称PH) |
分析项目 | 条纹数、透过波前PV值、Power值、平行度Tilt值、ttv等 |
测试重复性 | PV:0.01λ RMS:0.003λ |
测试允许误差 | PV<1λ时 PV:0.05λ Tilt:0.2fr(零场调整为1根条纹) |
1λ<PV<2λ时 PV:0.1λ Tilt:0.5fr(零场调整为1根条纹) | |
2λ<PV<3λ时 PV:0.2λ Tilt:1fr(零场调整为1根条纹) | |
测试时间 | 1.5秒 |
二、仪器特点
1、可同步测量多摄像孔
双摄、三摄甚至四摄逐渐成为手机摄像的标配,传统的小视场干涉仪每次只能测量一个摄像孔,效率低下;而大视场干涉仪虽然可以显示多个摄像孔,但分辨率不足,不能胜任大像差摄像孔的测量。G30-HD针对该特殊需求而设计,可以同时满足最多10个摄像孔的同步测量。

仪器可同步测量多摄像孔的PV、Power、条纹数等数值,并同步给出OK/NG的总体评价:

2、可满足大像差摄像孔的测量
在具备大视场的同时,仪器具备足够高的分辨率。下表为G30HD与G10 可准确测量的像差对比:
G30HD | G10U-PH | ||
3mm 口径(前置摄像孔典型值) | 条纹数 | 30fr | 20fr |
PV(背景零场测试值) | 1.5λ | 1λ | |
6mm 口径(后置摄像孔典型值) | 条纹数 | 60fr | 40fr |
PV(背景零场测试值) | 3λ | 2λ |
注:PV(背景零场测试值)为背景调整为零条纹时,直接测量所得的PV 值。
G30HD 足够胜任后置摄像孔与2.5D 前置摄像孔的测量。