测厚原理

两个激光位移传感器的激光对射，被测体放置在对射区域内

，根据测量被测体上表面和下表面的距离，计算出被测体的厚度。

激光测厚仪的基本组成是激光器、成像物镜、光电位敏接收器、信号处理机测量结果显示系统。激光束在被测物体表面上形成一个亮的光斑，成像物镜将该光斑成像到光敏接收器的光敏上，产生探测其敏感面上光斑位置的电信号。当被测物体移动时，其表面上光斑相对成像物镜的位置发生改变，相应地成像点在光敏器件上的位置也要发生变化，两者之间的关系：

LPM30C测厚计算公式

LPM30C测厚计算公式

式中：

X、X`——分别是被测物位移和光敏器件上像斑的位移；

L、L`、α——是系统的结构参数,是根据具体使用要求而选定的。

由此可见精确地测量X`就可以得到被测物体的位移量，这就是三角法测量位移的原理。

主要技术指标

可测范围：0～500mm

最高精度：0.5μm

测量速度：最高9400Hz

测量距离：10～200mm

被测体水平方向运动速度最高560m/min